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低漏电Si基MIS AlGaN/GaN横向肖特基势垒二极管物理模型构建与研制

凭借硅衬底的低成本和优异的散热性能,硅基氮化镓(GaN-on-Si)外延已经成为高功率密度电子器件的关键技术方案。然而,GaN-on-Si外延层因晶格失配和热膨胀系数差异存在高密度缺陷/位错(较蓝宝石衬底高1~2个数量级),加剧了器件的漏电流,并影响器件雪崩击

二极管 物理模型 mis 肖特基势垒 algan 2025-04-07 09:16  5