喷淋显影

微流控芯片中的喷淋显影的作用

汶颢股份自主开发的喷淋式显影机，是针对光刻工艺中的显影过程而设计开发的，可以对7英寸以下(含7英寸)规格的硅片进行程控式自动化显影。该设备可完全替代微流控芯片制作过程中的手动显影环节，克服了手动显影过程中的显影液加入量不可控、硅片显影时间不可控、同规格硅片间隔