ald设备

突破国产ALD设备，微导凭啥？

要打造一颗芯片，从沙子开始，到拉成硅锭，再到切成晶圆，然后在晶圆厂中历经千锤百炼，再去到封装厂封装成最终的芯片，需要历经过千道工艺。而随着芯片的制程越来越先进，当中不少工艺对可靠性和度的要求越来越高。在这一背景下，原子层沉积（ALD：Atomic layer