国家知识产权局信息显示，上海华力集成电路制造有限公司取得一项名为“表征自对准成像工艺套刻误差量测准确性的testkey及应用方法”的专利，授权公告号CN114859670B，申请日期为2022年4月。

华力 工艺套刻 套刻误差 testkey 套刻 2025-04-19 09:33  3