初创公司Lace Lithography AS（挪威卑尔根）正在开发一种光刻技术，该技术使用向表面发射的原子来定义特征，其分辨率超出了极紫外光刻技术的极限。

光刻 euv 光刻技术 euv极限 卑尔根大学 2025-04-23 11:33  3