电极掩膜

微流控中的电极掩膜版的制备工艺

在微流控芯片的制造过程中，掩膜版（Photomask）扮演着至关重要的角色。它也被称为光罩、光掩膜或光刻掩膜版，是微电子制造过程中的图形转移工具或母版。掩膜版承载了电子电路的核心技术参数，通过光刻过程，将掩膜版上的设计图形转移到光刻胶上，再经过刻蚀，将图形刻到