粒子束设备

ICT半导体申请影响带电粒子束专利，提升带电粒子束设备性能

金融界 2025 年 5 月 14 日消息，国家知识产权局信息显示，ICT 半导体集成电路测试有限公司申请一项名为“影响带电粒子束的方法，多极装置，以及带电粒子束设备”的专利，公开号 CN119993811A，申请日期为 2022 年 2 月。