氮化镓蚀刻

英思特：公司否认氮化镓蚀刻技术相关传闻

有投资者在互动平台向英思特提问：传闻公司在氮化镓蚀刻技术方面有深入探索，其开发了多种氮化镓蚀刻方法，如通过使用乙二醇作为KOH和NaOH的溶剂，开发出将晶体表面蚀刻为III族氮化物的两步法，还研究了用于锐化GaN垂直的湿化学DE工艺，并将其应用扩展到AlGaN