摘要:有投资者在互动平台向英思特提问:传闻公司在氮化镓蚀刻技术方面有深入探索,其开发了多种氮化镓蚀刻方法,如通过使用乙二醇作为KOH和NaOH的溶剂,开发出将晶体表面蚀刻为III族氮化物的两步法,还研究了用于锐化GaN垂直的湿化学DE工艺,并将其应用扩展到AlGaN
金融界5月15日消息,有投资者在互动平台向英思特提问:传闻公司在氮化镓蚀刻技术方面有深入探索,其开发了多种氮化镓蚀刻方法,如通过使用乙二醇作为KOH和NaOH的溶剂,开发出将晶体表面蚀刻为III族氮化物的两步法,还研究了用于锐化GaN垂直的湿化学DE工艺,并将其应用扩展到AlGaN尖端和c平面AlGaN蚀刻中,此外,也尝试了PEC二元GaN刻蚀方法,通过数字化方式进行实验,是否属实?
公司回答表示:尊敬的投资者,您好!针对您提到的内容,公司经核实后认为该说法不属实。目前公司的技术探索仍聚焦于稀土永磁应用器件领域,若想了解关于公司最新技术进展,请以公司官方公告或信息披露为准,感谢您的关注!
来源:金融界