经过20年的科研攻坚，DirectDrive等离子刻蚀技术有望彻底改变芯片制造行业。作为业界首个固态等离子刻蚀技术，DirectDrive通过更高效、更精确的等离子体生成方式，带来了比传统技术快100倍的响应速度，从而在半导体生产中大大减少了图案缺陷，推动了芯

芯片 等离子体 刻蚀 蚀刻机 directdrive 2025-05-19 07:31  4