1998年的硅谷车库里，王晖博士盯着显微镜下的晶圆陷入沉思——当时半导体电镀领域被美国应用材料垄断，中国企业连设备维修手册都难以获取。他攥着10万美元启动资金创立盛美美国，核心技术是那项改变行业规则的多阳极局部电镀铜专利。为验证技术可行性，他在英特尔研发部的无

实验室 半导体 张江 半导体设备 张江实验室 2025-06-03 17:29  3