应用材料公司申请用于原位反射测量的双色镜及短通滤光片专利,涉及用于原位膜生长速率监测的装置及系统 国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“用于原位反射测量的双色镜及短通滤光片”的专利,公开号CN120226133A,申请日期为2023年10月。 监测 专利 滤光片 原位反射 滤光片专利 2025-06-28 15:10 3