摘要：国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于原位反射测量的双色镜及短通滤光片”的专利，公开号CN120226133A，申请日期为2023年10月。

金融界2025年6月28日消息，国家知识产权局信息显示，应用材料公司申请一项名为“用于原位反射测量的双色镜及短通滤光片”的专利，公开号CN120226133A，申请日期为2023年10月。

专利摘要显示，本公开的实施方式大体涉及用于原位膜生长速率监测的装置及系统，且包括用于监测基板上的膜生长的系统，此系统包括光源、准直仪、双色镜，及滤光片，所有这些均沿着传播路径且沿着此传播路径进行光通信。此传播路径在此双色镜处分裂为第一子路径及第二子路径。将此第一子路径引导到高温计，且将此第二子路径引导到光谱仪。

来源：金融界