摘要:PAS 5500 虽然大受欢迎,但交付速度却十分缓慢。由于蔡司生产的镜头已经无法满足需求,奥伯科亨的生产遇到了瓶颈,导致越来越多的机器滞留在费尔德霍芬,等待着安装镜头。然而,这次的问题并不是由烦琐的生产过程所致,而是由于德国的动荡。在铁幕倒塌后,蔡司与其位于前
在DeepSeek成为全球顶流的时代,世界对芯片的需求呈现爆炸式增长。然而说起芯片制造,尤其是芯片制造的核心环节——光刻机技术,很多人还是比较陌生的;
说起在这些年的科技博弈与芯片之战中翻云覆雨的传奇巨头ASML,又是一个怎样惊心动魄的故事?
荷兰小厂、科技帝国、天才赌局,是这个故事的关键词。
荷兰记者马克·海金克从内部追随ASML上十年,以海量独家一手资料与调查记者的敏锐视角,揭开ASML鲜为人知的幕后故事。文艺君特别策划,带你踏上「小公司」的大冒险之旅!
摘编自 |《芯片制造:光刻巨头ASML传奇之路》
题图 | 《社交网络》剧照
成为半导体行业的“印钞机”
有时,历史也会成为绊脚石。
PAS 5500 虽然大受欢迎,但交付速度却十分缓慢。由于蔡司生产的镜头已经无法满足需求,奥伯科亨的生产遇到了瓶颈,导致越来越多的机器滞留在费尔德霍芬,等待着安装镜头。然而,这次的问题并不是由烦琐的生产过程所致,而是由于德国的动荡。在铁幕倒塌后,蔡司与其位于前东德城市耶拿的姊妹工厂重新合并,陷入了债务困境。当时的ASML刚刚开始赚钱,勉强凑足了一笔资金用作贷款来拯救蔡司。债务问题解决后,停滞的机器恢复生产,资金也逐步回流。1993年,ASML首次实现盈利,1994年售出了100多台光刻机。2年后,他们的销量翻了一番。
与此同时,韩国的三星公司注意到了ASML的机器,想用ASML的设备来生产存储芯片。他们与日本供应商尼康的合作出现了不悦,尼康交付的设备出现了镜头的问题,且拒绝跟进三星的投诉,这让三星深感愤怒。ASML因此获得了绝佳的机会。然而,说服三星更换供应商并非易事。三星深知自己掌握着主动权,向ASML提出了按照详尽的标准清单生产高度专业化设备的要求。然而,ASML只能提供其工厂出产的机器,没有能力生产客户定制的机器,更不用说达到三星要求的高标准了。
双方在首尔进行谈判,气氛一度十分紧张。由于存储芯片市场竞争异常激烈,利润微薄,一切都要讲求效率,三星丝毫没有妥协让步的意思。如果光刻机出现故障,任何导致生产延误的责任人,都将面临严重的后果。随后的会议更像是审讯。在ASML的人员抵达韩国后,就被没收了护照,接着被带去进行“谈判”。谈判桌上争吵不断,小到粉笔,大到盘子、烟灰缸和咖啡杯,手头的那些东西都成了泄愤的工具。
尽管如此,双方在1995年还是达成了协议,这让ASML和其他经常出席谈判会议的人都长舒了一口气。现在,ASML必须扩大规模,以满足三星所提出的需求,但公司主楼周围没有建筑空间了。曾经的送奶工克里斯·范·卡斯特伦(Chris van Kasteren)有着非凡的规划远见,想到了一个解决办法。费尔德霍芬南部的A67高速公路两旁的草地归当地农民所有,范·卡斯特伦联系社区人员,成功采购了大面积的草地。有了他提供的土地,ASML目前有了足够的空间进行扩建。
建筑师罗布·范·阿肯的任务是保障建筑的功能性。最重要的要求是,建筑必须是分开的。这样一来,万一公司陷入困境,就可以将它们拆分出售。可以确定的是,除了ASML,没有其他人能将这些豪华的建筑设施充分利用起来,包括厚实的减震地板、腾空式的地基和最先进的无尘室。
此时,ASML总部已不再是那个曾经巍峨耸立的金字塔造型。工程师和系统架构师的数量迅速增加,需要更多的办公空间来容纳现在庞大的开发部门。这些部门是公司的驱动力,是公司跳动的心脏,他们的目标只有一个:要比日本竞争对手更快地开发出新技术,并从他们手中挖走大客户。他们一步步地开始实施计划,主要策略是为芯片制造商“增值”,提供能够以尽可能少的缺陷每小时曝光更多晶圆的工具。光刻技术本质上是一种印刷机,而制造一台理想机器的标准也是如此。只不过,这些机器印刷的不是书籍、纸张或美元钞票,而是芯片。拥有这些机器,你就可以赚取数十亿美元。
ASML的首席执行官威廉·马里斯很喜欢自嘲。他经常在各个会议间来回奔走,感叹如果公司有了真正的管理层,那将会是怎样一番景象。ASML的运作模式完全不像他们生产的机器那样高效,但只要能够保证资金不断流入,没人会真的在意这些。从飞利浦调任到ASML的马里斯,曾是一位顶级网球选手。18岁时,他还是一名机械工程专业的学生,连他自己也没想到,竟然一举拿下了荷兰网球单打冠军,震惊众人。然而,正如马里斯1958年在《电讯报》(De Telegraaf)上所说,他觉得自己不会走上竞技体育的道路。拿过冠军后,人们就会一直期待他夺冠,这让“打球的乐趣全都没了”。他认为,如果一件事情不再有乐趣,那就不如不做。
马里斯是一个平易近人的领导者。他把自己的办公室安排在ASML大楼一个不起眼的角落里。相比起孤零零地独占高层,他更喜欢和员工们在一起。在这里,他经常会在公司大厅里闲逛,总是喜欢和大家聊天。马里斯梳着整齐的背头,举止随和,天生就是受人爱戴的推销员。他不喜欢针锋相对,更喜欢先让别人发表意见,然后再冷静地提出自己的想法。如果遇到更为难的情况,他还会向董事会成员征求意见。
这种领导方式非常适合ASML扁平化的管理架构。马里斯在公司内外营造了一种团结的氛围,将那些与ASML一同发展壮大且共担风险的供应商也纳入在内。在与重要供应商蔡司的合作中,他提出了“两家公司,一项业务”的合作原则。无论市场如何波动,他都确保双方的立场不变:我们拥有一个共同的目标,实现目标的最佳途径就是通力合作。
马里斯还成功挽留了想要跳槽的马丁·范登布林克。由于最新的5500机型的设计耗费了大量预算,马丁没有获得开发新机器的许可。图纸在抽屉里积灰,沮丧的他想要离开ASML,加入业内的美国瓦里安(Varian)公司,担任首席技术官。如果没有继续创新的自由和资源,他看不到自己和ASML的未来。他想:“是该走的时候了。”
正当他准备动身前往硅谷时,他决定去拜访前同事弗里茨·范霍特。尽管范霍特在1992年ASML遭遇危机时就离开了,转而去了一家瑞士公司担任领导职务,但他还是鼓励马丁重新考虑自己的决定:你是否真的能在一家美国公司找到归属感?更何况还要在新的公司重新证明自己的能力。
马丁即将离职的消息在芯片行业内引起了轰动。AMD将这一消息告诉了马里斯,AMD问马里斯是否知道自己最重要的技术人员想要离开。惊讶之余,马里斯察觉到了危机感,他立即满足了马丁的要求。马丁最终负责了位于费尔德霍芬的研究与发展部门,并在他的坚持下,ASML开始建造“扫描光刻机”。很快,这种机器被命名为“步进扫描光刻机”,他们在美国竞争对手珀金埃尔默公司(PerkinElmer)的技术的基础上进行了改进和优化。扫描光刻机利用一束类似于复印机的光束在掩膜上滑动,与此同时,晶圆则朝相反方向移动,从而提高芯片上曝光线条的清晰度。想象一下,一个奥运选手一手拿笔,一手拿纸,在冲刺的同时仍能绘制出高度精确的图画,这些机器的设计初衷就是要跳出高科技的严谨舞步。5500机型还首次使用了深紫外光(DUV)作为新的光源。维特科克和马丁必须说服蔡司调整他们的镜头设计,甚至提供了具体的规格。这让德国人十分不快,觉得这些咄咄逼人的荷兰人自以为比蔡司的专家还要厉害。
有了深紫外光刻机和扫描光刻机,ASML终于拥有了能与佳能和尼康一较高下的产品。虽然领先于美国的竞争对手,但要跃居第一还需更多资金。飞利浦的顾问亨克·博特认为,上市是ASML的最佳选择。以目前的情况来看,很难引入外部投资,如博特所说:“只有当你快破产时,他们才会对你的业务感兴趣。”
1995年,ASML在美国纳斯达克和阿姆斯特丹的安银交易所(AEX)上市。为了留住人才,公司向40名最有价值的员工发放一定数额的股份,但条件是在公司上市4年后才能出售,共有30名技术人员和10名管理人员拿到了股份。然而,当公司职工委员会发现能拿到股份的主要是高级管理人员时,他们非常愤怒。委员会认为ASML的成功应当由所有员工共享,而不是让少数人独享其成。最后,公司决定给那些没有获得股份的人提供一个股票期权方案。
弗里茨·范霍特一直犹豫是否要回到ASML。显然,现在这个时机不太好。他在1995年就与公司进行了协商,但发现自己错过了获得股权的机会。直到2001年,应马丁的请求,他才毅然决定回到ASML,但正如他所说:“在我心里,我从未离开过ASML。”
同年3月,公司首次公开募股取得了巨大成功,但庆祝活动却非常低调。几年后,股权可以自由流通出售后,ASML公司内部突然多了40位百万富翁,他们这才真正开始庆祝。他们大多数都将这笔钱用于购置漂亮的住宅,还给全家人换了新车。除此以外,他们并没有大肆挥霍钱财。在ASML,炫耀财富会被人不齿,只会分散大家对工作的注意力。
如果你在1995年向ASML投资1美元,一直持有到2024年,那么你所持有的股份价值将超过你本金的600倍(包括股息),很多人就因此一夜暴富。飞利浦在1995年后将其在ASML的持股减少到23%。从2001年起,又进一步减持了这部分股权。ASML最初的项目负责人理查德·乔治很快就卖掉了自己的股份,他笑着说:“如果我一直持有这些股份,我会多赚近1亿美元。真不敢想!”他并没有后悔,而因自己为公司做出了贡献感到自豪。
有些人则没那么幸运了,完全与这个机遇失之交臂。在1984年ASML成立之初,时任首席运营官的约普·范凯塞尔(Joop van Kessel)可能是最后悔的人。范凯塞尔当时有意拒绝了期权方案,后来他和妻子算了一下,他们错过了约1000万欧元的机会。如今,他感叹道:“那真是一大笔钱。” 但那时的ASML还必须满足韩国存储芯片制造商的极高要求,为他们提供完美无瑕的机器。范凯塞尔实在不想调任韩国:“40岁的人比较适合去,像我这样60岁的人就没必要去凑热闹了。”虽然代价很大,与巨款擦肩而过,但他从未后悔做出这个决定。
一直以来,一位来自德勤(Deloitte)的年轻会计师一直在协助ASML筹备首次公开募股——他就是彼得·温宁克,多年后,他成了ASML的掌舵人,代表公司与美国总统乔·拜登握手。
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《芯片制造:光刻巨头ASML传奇之路》
[荷]马克·海金克 著;许明武 译
全景式揭秘光刻巨头ASML的权威传记,再现ASML的四十年科技帝国缔造之路,一本书读懂现代芯片史!
芯片是现代科技的基石,而光刻机是芯片制造的核心“利器”。荷兰高科技企业ASML(阿斯麦)设计了巨大且极度复杂的光刻机,在很长一段时间内几乎成为光刻技术壁垒象征,其合作伙伴云集当今世界顶尖的半导体制造商,包括英伟达、三星、台积电、英特尔等。这家诞生于荷兰宁静小镇的欧洲小厂,不断挑战技术极限,用四十年时间缔造其科技帝国。
本书是ASML的权威企业传记。荷兰记者马克·海金克从内部追随ASML多年,基于300余次对ASML及其供应商的高管访谈与大量档案,以调查记者的敏锐视角和老道文笔,将大量重要人物和关键事件串联起来,首度披露ASML四十年创立发展的崛起之路,全景式透视以芯片制造为核心的全球市场争夺战。
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图文编辑 吴蒙蒙
责任编辑 吴蒙蒙
审 核 阳继波
来源:长江文艺出版社一点号