10nm 精度王炸！中科飞测 BFI 打破 “卡脖子” 困局！

摘要：REDWOOD-900在国内先进制程高端检测设备领域实现了从0到1的突破，它打破了国外长期垄断，填补了国内市场在这个领域的空白，是中科测发展的重要里程碑。

2025年4月28日，中科飞测先进制程明场纳米图形晶圆缺陷检测设备REDWOOD-900再次出货头部客户！

REDWOOD-900在国内先进制程高端检测设备领域实现了从0到1的突破，它打破了国外长期垄断，填补了国内市场在这个领域的空白，是中科测发展的重要里程碑。

注意：中科飞测5月7日将举行2024年度暨2025年第一季度业绩说明会。5月6日发布出货利好，股价表现今日涨4.5%。

在半导体制造领域，明场纳米图形晶圆缺陷检测设备长期被国外企业垄断，是制约我国半导体产业发展的 “卡脖子” 技术。

2025 年 4 月 28 日，中科飞测先进制程明场纳米图形晶圆缺陷检测设备 REDWOOD - 900 再次出货头部客户，这一成果意义非凡。

该设备采用高数值孔径物镜（NA≥0.95）和高速图像采集系统，检测精度达 10nm 级，可适配 FinFET、GAA 等先进晶体管结构及 3D NAND 堆叠层检测，打破了科磊等企业对 14nm 以下制程明场检测设备的垄断，填补了国内市场空白，实现了从 0 到 1 的突破，是我国半导体检测设备领域的重要里程碑。

中科飞测在晶圆缺陷检测设备领域布局多元且深入，其明暗场缺陷检测设备已出货至多家头部客户，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备出货及订单数量增长迅速，覆盖国内头部逻辑及存储客户，验证顺利，预计将快速实现收入与订单增长。

产品结构上，检测设备营收占比高，套刻精度量测设备增长快，暗场设备成新增订单重点。应用领域以服务前道制程为主，2025年一季度先进制程产品提升毛利率，在新兴先进封装领域也获积极反馈。

预计 2025 - 2030 年，国产设备在国内市场份额将从不足 5% 提升至 20% 以上。随着高性能芯片需求激增，国产设备市场份额将大幅提升，中科飞测凭借技术与产品优势，将在推动半导体产业自主可控、助力产业升级上持续发挥关键作用。

三、钱都烧哪了？中科飞测疯投研发，深陷亏损黑洞？

中科飞测虽营收高增长，却陷入亏损泥沼。2024 年研发费用飙升至 4.98 亿元，同比大增 118.17%，占营收比重达 36.07%。研发人员薪酬高达 2.43 亿元，股权激励产生 8054.92 万元股份支付费用，均大幅吞噬利润。尽管投入大量资金研发先进封装、EUV 检测等技术，可短期内难以转化为盈利，亏损黑洞持续扩大，盈利前景仍迷雾重重。

1、营收利润：2024 年中科飞测营收达 13.8 亿，同比增 54.94%，检测、量测设备收入分别为 9.85 亿、3.61 亿，因研发投入大等因素，归母净利 -0.12 亿，扣非归母净利 -1.24 亿。2025 年 Q1 营收 2.94 亿，同比增 24.89%，毛利率升为 58.08%，但归母净利 -0.15 亿。负债率45.55%，利润受研发等因素影响承压。

2、产品结构：检测设备营收占比高，套刻精度量测设备 2024 年来增长快，暗场纳米图形晶圆缺陷检测设备订单增长，成新增订单重点。产品以服务前道制程为主，先进制程产品推动 2025 年 Q1 毛利率上升，先进制程收入和订单占比超 50%，成为增长主因。

近五年中科飞测业绩波动剧烈，营收呈连年高速增长态势，从 2020 年 2.38 亿元增至 2024 年 13.8 亿元，增速显著。但净利润起伏大，虽部分年份增速可观，如 2023 年达 1072.38%，却也出现 2022 年、2024 年大幅下降，营收狂飙与盈利倒挂矛盾突出。