重庆芯联申请 LDMOS 器件及其制造方法专利,优化 SAB 工艺窗口

360影视 日韩动漫 2025-05-12 21:00 1

摘要:金融界 2025 年 5 月 12 日消息,国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“一种 LDMOS 器件及其制造方法”的专利,公开号 CN119967838A,申请日期为 2025 年 1 月。

金融界 2025 年 5 月 12 日消息,国家知识产权局信息显示,重庆芯联微电子有限公司申请一项名为“一种 LDMOS 器件及其制造方法”的专利,公开号 CN119967838A,申请日期为 2025 年 1 月。

专利摘要显示,本发明提供一种 LDMOS 器件及其制造方法,该方法在形成侧墙材料层之后增加一道光罩,基于该光罩图形化侧墙材料层以得到第一、第二栅极侧墙,并保留一部分侧墙材料层作为第一、第二场板,之后在 SAB 阶段形成第一、第二硅化物阻挡层,其中,硅化物阻挡层与场板共同组成复合场板,由于复合场板中所需的硅化物阻挡层的厚度相对较小,使得 SAB 工艺窗口得以优化,且由于本发明采用侧墙材料层作为第一场板与第二场板,至少可以减少一次对氧化物的刻蚀清洗,有助于保证 STI 步高高度,防止凹陷缺陷的产生或防止凹陷程度的增大,从而可以兼容核心器件区的 CMOS 器件工艺,降低对核心器件区的 CMOS 器件的栅氧生长的控制难度,有利于提高良率。

天眼查资料显示,重庆芯联微电子有限公司,成立于2023年,位于重庆市,是一家以从事计算机、通信和其他电子设备制造业为主的企业。企业注册资本870000万人民币。通过天眼查大数据分析,重庆芯联微电子有限公司参与招投标项目693次,专利信息89条,此外企业还拥有行政许可11个。

来源:金融界

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