摘要：2025年8月1日，杭州一家叫璞璘科技的公司交出了一台黑科技设备，名字叫PL-SR纳米压印光刻机。这台机器能让中国的芯片制造精度达到10纳米以下，直接对标荷兰ASML的高端光刻机。芯片厂用它生产存储芯片时，成本能比进口设备低四成，性能却差不多。普通人在用手机电

2025年8月1日，杭州一家叫璞璘科技的公司交出了一台黑科技设备，名字叫PL-SR纳米压印光刻机。这台机器能让中国的芯片制造精度达到10纳米以下，直接对标荷兰ASML的高端光刻机。芯片厂用它生产存储芯片时，成本能比进口设备低四成，性能却差不多。普通人在用手机电脑时可能感觉不到，但对做芯片的人来说，这意味着中国在关键设备领域终于有了自己的选项。

璞璘科技团队花了五年时间，把实验室里的新技术做成了能用在工厂里的机器。他们的技术核心是"纳米压印"，简单说就是把芯片电路的图案刻在石英模板上，像盖章一样压到涂了光刻胶的硅片上。以前的光刻机得用贵得很的极紫外光，还要在真空环境里操作，一台要几亿。而PL-SR不需要那么复杂的光源系统，靠物理接触就能把图案印上去，省电也省钱。

这台机器的关键数据是线宽10纳米，这个数字比头发丝细几百倍。团队负责人之一是Stephen Chou，他研究纳米压印快三十年了。现在他们团队里大部分人都读过硕士或博士，手里有上百个专利。从2020年立项开始，他们解决了好些难题，比如怎么让液态光刻胶涂得均匀，厚度控制在十纳米以内。还有怎么让模板和硅片严丝合缝接触，中间不能有任何杂质。

用传统光刻机造芯片，受限于光的波长，精度做不上去。纳米压印直接跳过这个限制，模板刻得够细就能做到更小线宽。现在他们已经做到10纳米，理论上还能更细，往两纳米级别冲。但实际用在逻辑芯片上还有些困难，比如频繁换模板会影响生产速度，对准精度得再提高。不过在存储芯片领域，这种重复性强的产品，纳米压印已经能派上大用场。

国内的长江存储已经在考虑用这台机器生产3D NAND芯片，能降低成本又能提升产能。AR眼镜的显示模组也需要这种精密制造，国产设备能帮着降低成本。不过现在还有些短板，比如用来做模板的材料，还有光刻胶，有些还得从国外买，国内配套的供应链还没完全跟上。

ASML的光刻机产业链有五千多家供应商，璞璘现在单靠自己肯定不行。政府最近几年也在推"专精特新"企业，重点培养能做精密部件的小公司。比如做光刻胶的企业，浙江有几家在加速研发，希望两三年内能用上国产材料。但整个产业链要补全，至少还需要五到十年时间。

这台PL-SR光刻机的价值不只是造出了一台机器，更证明中国能在关键技术上找到新路子。钱学森那个时代说的"外国人能搞的我们也能搞"，现在在芯片领域又有了新注解。团队用了完全不同的技术路线，避开西方在光学领域的优势，用物理接触的方式另辟蹊径。这就像两个人比赛跑步，一方穿跑鞋，另一方找了个滑梯直接滑过去。

技术细节上，PL-SR用了喷墨涂胶技术，类似打印机喷墨，能把光刻胶涂得超薄超平。还有非真空环境工作，省去昂贵的真空设备，能耗降了六成。这些技术加起来，让机器体积比传统光刻机小一半，维护成本也低。但要在逻辑芯片领域和ASML的EUV光刻机正面竞争，还需要提升对准精度，现在能做到3纳米误差，目标是压缩到0.5纳米。

国家在2024年出了文件支持纳米压印技术，计划到2026年培育百亿规模的产业链。现在已经有江苏、浙江等地的企业开始布局相关材料，做模板镀膜设备的公司也在增多。不过离形成完整生态还差得远，光刻机需要的零部件有上千种，每个环节都得国产化才行。

研发过程中，团队试过无数材料，光石英模板就换了几十种配方。有次测试发现模板表面有微小气泡，导致图案印刷不全，后来用了新涂层才解决。做非真空贴合时，怎么让模板和硅片完美接触，试验了各种压力参数和温度控制。这些技术细节看着简单，实际做起来都是硬骨头，有的问题卡了大半年才解决。

现在这台机器已经在浙江某芯片厂试运行，每天能处理几十片晶圆。虽然还达不到ASML的产能，但已经能稳定生产部分存储芯片。厂里负责人说，用了国产设备，采购成本省了四成，维护费用降了六成。不过碰到复杂电路设计，还得用进口光刻机配合，两种设备互补使用。

未来五年，璞璘计划先把纳米压印技术在存储芯片领域站稳脚跟，争取到2027年做到7纳米精度，逐步替代进口设备。他们正在和高校合作研发新材料，比如更耐高温的光刻胶，以及能做三维结构的模板。这些都是为下一步进入逻辑芯片领域铺路，那里对精度要求更高，市场空间也更大。

芯片产业从来不是单打独斗，璞璘的突破带动了不少配套企业发展。浙江有一家做精密运动平台的小公司，原本给其他设备供货，现在专门开发适配纳米压印的新产品。上海有家研究所，以前做材料检测，现在开始研究怎么快速检测纳米级图案缺陷。这种连锁反应，让整个产业链慢慢活起来。

这台机器的出现，让中国芯片制造有了新选择。虽然离全面取代进口还有距离，但至少撕开了一个口子。就像早年间高铁刚开始跑时，速度也不如国外，但现在早就做到了全球领先。技术突破往往就是这样，第一步最难，但走了出来就有更多可能。现在璞璘团队准备再招二百名工程师，继续优化现有产品，同时开发更大尺寸的光刻机。

芯片战争远没结束，但至少现在中国人手里有了自己的武器。接下来得一步步补全短板，把供应链做扎实。这可能需要十年甚至更久，但总得有人先迈出第一步。反正那台PL-SR机器已经摆在车间里了，每天在稳定地生产芯片，这就是最大的底气。

来源：晴朗湖边写生者