摘要：在现代光学与光电技术领域，微透镜阵列作为实现光束调控、图像传感和光学集成的核心元件，正推动着激光加工、生物医学成像、虚拟现实等前沿领域的革新。然而，微透镜阵列的超精密加工长期受限于纳米级结构精度、大面积均匀性和复杂阵列排布的挑战。倚光科技凭借在超精密加工领域的

在现代光学与光电技术领域，微透镜阵列作为实现光束调控、图像传感和光学集成的核心元件，正推动着激光加工、生物医学成像、虚拟现实等前沿领域的革新。然而，微透镜阵列的超精密加工长期受限于纳米级结构精度、大面积均匀性和复杂阵列排布的挑战。倚光科技凭借在超精密加工领域的深厚积淀，成功突破微透镜阵列加工的技术瓶颈，实现从亚微米级结构到毫米级阵列的全尺度精准制造，为光学元件的微型化与集成化提供了关键支撑。

倚光科技加工微透镜阵列图

微透镜阵列加工的技术挑战与突破

微透镜阵列的加工难点主要体现在三个维度：结构尺寸的微量化（单个透镜直径从 10μm 至 1mm）、面形精度的纳米级要求（PV 值 阵列排布的一致性控制（位置误差

倚光科技配备多台国际领先的超精密加工设备，为微透镜阵列加工奠定坚实基础。NanoTech 650 FG 超精自由曲面加工机采用慢刀伺服（旋转式）和栅格飞刀技术，具备卓越的复杂曲面加工能力，其编程分辨率达到线性 0.01 纳米、角度 0.0000001 度，可精准加工微透镜阵列的复杂曲面结构。东芝单点金刚石车床 ULC - 100D (S) 和 ULC - 100F (S) 同样表现出色，ULC - 100D (S) 的 X 轴和 Z 轴分辨率达 0.000001mm，C 轴为 0.0000mm，镜片模仁加工面形精度（Pv）可达 0.015um，表面粗糙度（Ra）低至 0.002um；ULC - 100F (S) 的 X 轴和 Z 轴分辨率高达 0.0000001mm，镜片模仁加工 Pv 为 0.010um、Ra 为 0.001um，且具备最小 0.1 纳米加工指令设定功能，为微透镜阵列的高精度加工提供有力支持。

倚光科技设计加工的微透镜阵列图

多元材料加工能力与工艺创新

倚光科技凭借多元材料加工能力与工艺创新，构建起覆盖光学塑料、光学玻璃、红外晶体的全材料加工体系，并针对不同材料特性开发专属工艺。在光学塑料领域，针对 PMMA/PC 材料，采用 “金刚石车削 - 热压复制” 工艺，先加工出表面粗糙度 Ra 90%，适用于红外热成像焦平面阵列；而硫系玻璃阵列则利用 As₂Se₃材料的高红外透过性，通过低温车削工艺抑制材料脆性断裂。

倚光科技检测设备

超精密检测体系与质量控制

为确保微透镜阵列的加工质量，倚光科技配置完善的检测设备。松下超高精度三维测量仪 - UA3P - 300 和 - UA3P - 400T，X、V、Z 轴分辨率均为 0.000001mm，可对微透镜阵列进行精确的轮廓面型检测与尺寸检测。Zygo 非接触干涉仪以 Z 轴分辨率 0.00000001mm 的高精度，检测微透镜表面粗糙度，保障表面光洁度符合要求。全欧光学偏心测量设备可实现亚微米级的光学反射偏心检测，确保微透镜阵列的偏心精度，为光学系统的准确装配提供保障。

倚光科技拥有一支实力强劲的专业团队，团队成员汇聚了来自新加坡南洋理工大学、法国斯特拉斯堡大学、中科院长春光机所、浙江大学等国内外顶尖院校与科研机构的人才。他们在光学设计、超精密加工、材料科学等领域具备深厚的理论知识与丰富的实践经验，能够针对微透镜阵列加工中的各类技术难题，研发创新工艺与解决方案。

倚光科技检测设备三丰轮廓仪等

团队在微透镜阵列加工技术研发中，充分发挥专业优势。基于对光学设计的深入理解，精准把握微透镜阵列的光学性能需求；凭借对超精密加工设备的熟练操控与工艺优化能力，不断提升微透镜阵列的加工精度与效率。从加工工艺的研发到设备参数的优化，团队成员紧密协作，为倚光科技在微透镜阵列超精密加工领域的技术领先提供了坚实的人才支撑。

倚光科技通过先进设备与专业团队的协同，在微透镜阵列加工技术上实现突破。利用超精密单点金刚石车削技术，配合五轴联动系统，实现微透镜阵列的高精度成型。加工过程中，自主研发的智能刀具路径规划算法，根据微透镜形状自动生成最优切削轨迹，提高加工效率的同时，确保阵列的精度与一致性。

来源：生活无线精彩