摘要：国家知识产权局信息显示，浙江中科尚弘离子装备工程有限公司取得一项名为“一种用于离子注入机扫描系统的驱动机构”的专利，授权公告号CN 222214111 U，申请日期为2023年12月。

金融界2024年12月28日消息，国家知识产权局信息显示，浙江中科尚弘离子装备工程有限公司取得一项名为“一种用于离子注入机扫描系统的驱动机构”的专利，授权公告号CN 222214111 U，申请日期为2023年12月。

专利摘要显示，本实用新型提出一种用于离子注入机扫描系统的驱动机构，其包括支撑装配组件、动力驱转组件、转接触动组件、回转感测组件、承转支托组件、周向回转组件及轴向传动组件，各个组件紧密安装在支撑装配组件中，占用空间小，可以有效利用设备空间，实现了对靶盘组件垂直扫描运动的精确控制，驱动座板与支撑框架之间的缓冲垫块可以吸收驱动电机运行时的振动能量，保证驱动的稳定性，从而使转接传动组件的回转运动平稳，通过光电传感器和旋转编码盘对传动端柱的转动角度进行计量，可以实时准确地感知转接传动组件的回转状态，并将信息传输给控制系统进行反馈控制，满足离子注入机扫描系统的需求，使得离子注入过程稳定精准，有利于提升集成电路的性能。

来源：金融界