28nm

突破!28nm全国产光刻机杀疯了

在光刻机方面,据2024年9月9号,工信部发布的《首台(套)重大技术装备推广应用指导目录(2024年版)》显示,中国的氟化氩光刻机,已经实现了套刻≤8nm制程突破,这也就意味着从理论上来讲,该光刻机通过多重曝光的技术能够实现更先进制程芯片的制造,比如7nm,只

asml 掩膜 双工 光刻机 28nm 2025-03-12 16:22  5