浙江中科尚弘取得用于离子注入机扫描系统的驱动机构专利，实现对靶盘组件垂直扫描运动的精确控制
国家知识产权局信息显示，浙江中科尚弘离子装备工程有限公司取得一项名为“一种用于离子注入机扫描系统的驱动机构”的专利，授权公告号CN 222214111 U，申请日期为2023年12月。
中科尚弘
国家知识产权局信息显示，浙江中科尚弘离子装备工程有限公司取得一项名为“一种用于离子注入机扫描系统的驱动机构”的专利，授权公告号CN 222214111 U，申请日期为2023年12月。