具有能量转换效率高、造价较低、体积较小、技术难度较低等优势，可提供满足极紫外光刻市场需求的光源，且有效避开了国际巨头阿斯麦使用的复杂且昂贵的激光等离子技术壁垒。

光源 哈工大 全球芯片业 2025-01-05 07:18  2