光刻机光强

新毅东取得光刻机光强检测系统专利，显著提升检测精度

国家知识产权局信息显示，新毅东（北京）科技有限公司取得一项名为“一种光刻机光强检测系统”的专利，授权公告号 CN 222259839 U，申请日期为 2024年4月。