FinFET于2011年由英特尔首次引入IC行业并实现生产。到目前为止，它仍然是高级过程节点的主流。简化的HKMG体FinFET工艺流程如下：

dpr 工艺流程 finfet nsd finfet工艺流程 2025-03-21 00:29  5