EUV光刻机用很多偏微分方程
在 EUV 光刻机采用的通过高能脉冲激光打击锡液滴靶产生等离子体进而获得极紫外光源的过程里，锡液滴的流动行为受到多种物理因素交互影响。比如，一方面有外界施加的促使液滴喷射的压力、激光打击产生的瞬间冲击力等外力作用；另一方面，液滴自身存在的粘性、表面张力等内力因
偏微分方程
在 EUV 光刻机采用的通过高能脉冲激光打击锡液滴靶产生等离子体进而获得极紫外光源的过程里，锡液滴的流动行为受到多种物理因素交互影响。比如，一方面有外界施加的促使液滴喷射的压力、激光打击产生的瞬间冲击力等外力作用；另一方面，液滴自身存在的粘性、表面张力等内力因