离子束

FIB为什么要用液态镓来做离子源？

FIB，全名Focused Ion Beam，聚焦离子束，在芯片制造中十分重要。主要有四大功能：结构切割，线路修改，观察，TEM制样等。

聚焦离子束显微镜（FIB-SEM）是一种将聚焦离子束（FIB）与扫描电子显微镜（SEM）技术完美结合的综合性工具，具有高分辨率的成像能力和精确的微加工能力，成为现代科学研究与工业应用中的关键设备。