奥普托科微电子取得晶圆缺陷光学检测设备专利,实现光斑直径单维度的压缩后完成缺陷检测

360影视 日韩动漫 2025-08-07 09:21 1

摘要:国家知识产权局信息显示,北京奥普托科微电子技术有限公司取得一项名为“晶圆缺陷光学检测设备”的专利,授权公告号CN223192850U,申请日期为2024年09月。

金融界2025年8月7日消息,国家知识产权局信息显示,北京奥普托科微电子技术有限公司取得一项名为“晶圆缺陷光学检测设备”的专利,授权公告号CN223192850U,申请日期为2024年09月。

专利摘要显示,本申请公开了一种晶圆缺陷光学检测设备,包括:激光光源,用于出射具有固定波长的初始光束,初始光束沿第一路径出射;压缩棱镜阵列,包括至少一个压缩棱镜对,包括一对相互呈面间夹角的第一折射面和第二折射面;承托装置,用于承托晶圆;接收装置;其中,初始光束以垂直角度抵达第一折射面,并以面间夹角为入射角抵达第二折射面后,折射并朝向第二折射面方向改变传播路径,由晶圆反射后,入射至接收装置。本申请实施例提供的晶圆缺陷光学检测设备,初始光束抵达第一折射面而不改变光斑直径的同时,抵达第二折射面,折射并朝向第二折射面方向改变传播路径,从而实现光斑直径单维度的压缩后,再入射至晶圆并反射进入接收装置,完成缺陷检测。

天眼查资料显示,北京奥普托科微电子技术有限公司,成立于2022年,位于北京市,是一家以从事科技推广和应用服务业为主的企业。企业注册资本17810万人民币。通过天眼查大数据分析,北京奥普托科微电子技术有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目1次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息41条,此外企业还拥有行政许可2个。

来源:金融界

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