摘要：本周大科技主线持续回调，半导体板块持续低迷，不少处于强势趋势中的绩优半导体股迎来了难得的回踩机会。今日趁周末继续给大家说一只海豚持续跟踪的绩优半导体设备股——微导纳米，质地稀缺，为ALD设备第一股同时也是该领域国内龙头，其业绩在23年一度爆发式增长，扣非利润同

技术优势明显！新品不断，产品线持续丰富，半导体领域在手订单已超23亿，下游客户覆盖存储、先进封装等

海豚读次新（解读次新风云变化，挖掘成长潜力牛股）

文/海豚音

写于2025.9.7晚间

本周大科技主线持续回调，半导体板块持续低迷，不少处于强势趋势中的绩优半导体股迎来了难得的回踩机会。今日趁周末继续给大家说一只海豚持续跟踪的绩优半导体设备股——微导纳米，质地稀缺，为ALD设备第一股同时也是该领域国内龙头，其业绩在23年一度爆发式增长，扣非利润同比大增8.5倍，不过彼时仍主要受益于光伏设备的放量，半导体设备占比还较低，因此其一度长期处于低估状态。不过进入25年公司半导体设备业务超预期放量，且产品线布局持续丰富，中报扣非利润更是同比大增超10倍，正在加速赶超拓荆科技，未来估值体系有望重塑，性价比显然比近端的屹唐股份更有吸引力，那么微导纳米近年以来有哪些新进展，又有哪些投资亮点？且看海豚今日再度为你细细梳理！

ALD设备第一股！引领行业技术革命，光伏领域稳居全球第一梯队...

薄膜沉积技术分为PVD（物理气相沉积）、ALD（原子层沉积） 、CVD（化学气相沉积）三大类。

在半导体领域薄膜沉积设备为集成电路前道生产工序的三大核心设备之一，在晶圆制造设备占投资占比达22%，其制备的薄膜发挥着导电、绝缘、阻挡污染物等，直接影响着半导体器件性能。2023年我国薄膜沉积设备市场规模已达61亿美元，全球占比29%，随着芯片制造工艺精密化所需膜层越来越多预计到2029年将增至162亿美元。

分技术路线看2022年PECVD设备、PVD设备为主流，占比分别为28%、24%。

其中CVD技术主要通过化学反应在衬底上沉积薄膜，适用于大面积、高效率的薄膜生长。而ALD 技术则通过逐层沉积的方式，在原子级别上控制薄膜的生长，适用于精确、均匀镀膜，但其相较于 CVD 技术和 PVD 技术起步较晚，2007年英特尔才首次在45nm技术节点应用，但是其具有优异的三维共形性、大面积成膜的均匀性和精确的膜厚控制等特点，技术优势明显，在半导体薄膜沉积设备占比已从2019年的11%提升至2022年的13%。

总体而言随着制程进入到28nm以下，器件结构不断缩小且更为3D立体，ALD的应用环节将越来越多，在逻辑芯片、DRAM、3D NAND、新型存储器、新型半导体材料等领域需求将越来越多，市占率将持续提升。

在光伏领域，薄膜沉积设备制备的薄膜直接影响电池片的光电转换效率，其技术路线以 PECVD 和 ALD 为主，其中捷佳伟创、北方华创、红太阳、拉普拉斯等光伏设备股均采用PECVD技术，而相比之下ALD技术为成膜质量最好的技术，随着光伏效率提升对薄膜工艺要求提高应用场景不断增多，在 TOPCon 电池领域已成为主流技术路线。而薄膜沉积设备在产线投资占比也将从从 PERC 电池的 26%提升至 TOPCon 等新型高效电池的30%以上。

拓荆科技与微导纳米一样均为薄膜沉积设备厂商，所不同的是拓荆科技主打PECVD设备，同时还涉及ALD、SACVD 、 HDPCVD 设备、Flowable CVD设备以及用于三维集成领域的先进键合设备及配套的量测设备，产品线更为丰富。

而微导纳米则主打ALD设备，是国内最大的ALD设备厂商，相比之下拓荆科技的PE-ALD设备2023年刚刚实现产业化应用，其首台 Thermal-ALD设备也在2023年刚刚通过了客户验证，此外微导纳米液也正逐步拓展 CVD 等多种镀膜技术，进一步完善产品线。

两只薄膜沉积设备龙头近年来收入均维持持续高增，其中拓荆科技23、24年、25年上半年收入持续稳健增长，增速均超51%。相比拓荆科技，微导纳米23年受益于光伏大爆发收入一度同比大增145%，扣非利润更是同比大增8.5倍实现了对拓荆科技的快速追赶。

24年、25年上半年微导纳米收入增速分别超60%、33%，与拓荆科技相当，但是其扣非利润规模在25年上半年表现亮眼，同比大增超10倍至1.36亿，大幅超越拓荆科技3800万的利润规模。

光伏设备收入3年8.3倍，且在手订单充足，位居细分领域国内第一

光伏设备一直为微导纳米主要收入来源，2023年收入占比更是一度近九成，继2022年同比大增82%后，2023年增速更快，同比大增199%至14.97亿。与此同时23年公司新增光伏领域订单同比大增2.92倍，到2024年一季度底公司在手光伏订单达70.26亿，是23年收入规模的4.7倍。

24年、25年上半年公司光伏设备收入如预期般继续保持高增，分别同比增长53%、31.53%。总体来看公司光伏设备布局行业景气性变化收入持续稳健增长，2022-2024年3年翻了8.3倍。

不过到24年底公司光伏在手订单额有所下滑同比微降26%至51.88亿，但在手订单仍较为充足，是公司24年光伏设备收入规模2.3倍，未来光伏设备领域收入增速可期。

从行业地位看公司在光伏ALD设备领域持续保持领先，连续多年收入、订单量、市占率均位居国内第一，已实现了对 TOPCon 产线真空类设备的全覆盖。公司也因公司先发优势明显，因此其光伏设备毛利率近2年均超40%，高于主打PECVD 设备的捷佳伟创、拉普拉斯28%左右的毛利率水平。

此外由于 PERC 电池片的量产平均转换效率已逐渐接近理论极限，TOPCon、HJT、XBC 等新型电池技术路线开始涌现，近年来PERC电池市占率已从2021年的91%下滑至2023年的73%，而TOPCon、异质结等 N 型电池市占率则从2021年的不足3%提升至2023年的26.5%。公司在XBC 电池生产线中继续保持领先，而用于钙钛矿电池的ALD设备也已进入产业化应用阶段。

在半导体领域公司以ALD设备为核心，为国内首家将高介电常数（High-k）栅氧薄膜工艺用于半导体前道工序的国产设备厂商，同时也是国内首家用于存储芯片领域的批量型ALD设备厂商。

2023年公司又成为国内首批推出硬掩膜CVD（化学气相沉积）设备厂商，业内率先在DRAM 芯片、NAND 芯片等新型存储领域获批量订单，截至目前公司半导体设备下游应用逻辑、存储、化合物半导体、新型显示、先进封装等诸多细分领域。

截至目前公司CVD设备类型已覆盖高温无定形碳CVD设备、LPCVD 、PECVD设备、低温PECVD设备各种类型，2025年上半年公司还推出了更为前沿的空间型 ALD 设备，产品线持续丰富。

从收入规模看自2021年公司半导体设备实现出货以来，2022-2024年公司半导体设备收入分别同比大增88%、159.6%、168.4%，收入规模三年翻了九倍多，收入占比到24年已提升至12%以上。2025年上半年公司半导体设备业务收入继续同比大增超27%至1.93亿，已接近24年全年水平，收入占比也大幅提升至18%以上。

且公司半导体领域在手订单继2024年同比大增66%至15亿后，2025年上半年底相较年初继续同比大增55%至23.3亿，半导体新增订单已超24年全年水平，且占比持续提升，且半导体领域在手订单金额大幅多于收入规模，预计25年随着公司半导体设备工艺面全面覆盖，将迎来爆发式增长。

不过短期因公司还处于拓展阶段，因此2023、2024年公司半导体设备毛利率分别为22%、27.7%，低于拓荆科技41%以上的毛利率水平。

2025年公司还发行可转债拟投资6.7亿用于半导体薄膜沉积设备项目，与之前募投项目主要产品为ALD设备不同，此次公司募投项目还包括CVD设备的研发

此外因为ALD技术为通用型共性技术，因此下游应用方面除了光伏、半导体，2023年公司还推出了柔性电子二代机、车规级芯片 ALD 设备、光学领域镀膜设备等新品，可用于柔性镀膜、芯片封装、光学超低减反膜沉积、新能源等领域，相关新兴应用领域潜力可期。

海豚结语：

目前薄膜沉积设备几大技术路线各有优缺互为补充，拓荆科技主打的PECVD设备仍是主流，也因此微导纳米也在积极布局迅速补齐短板，而ALD设备作为新一代技术路线未来渗透率也将进一步提升，微导这方面先发优势明显，虽然拓荆、中微也在布局，但是微导成长潜力更大。25年随着微导更多半导体设备新品放量其业绩增速可期，目前微导市值不足200亿，仅为拓荆市值的三分之一多一些，值得重点关注。

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来源：海豚读次新一点号