摘要:国家知识产权局信息显示,苏州希卓科技有限公司取得一项名为“选择性外延硅基脊型光波导”的专利,授权公告号CN 222259620 U,申请日期为2024年1月。
金融界2025年1月7日消息,国家知识产权局信息显示,苏州希卓科技有限公司取得一项名为“选择性外延硅基脊型光波导”的专利,授权公告号CN 222259620 U,申请日期为2024年1月。
专利摘要显示,本实用新型提供了选择性外延硅基脊型光波导,该脊型光波导包括:SOI衬底,包括自下而上的硅衬底、埋氧层和顶层硅;硅平板层,由所述SOI衬底的顶层硅制成,作为脊型光波导的平板部分;选择性外延硅,在所述硅平板层上表面中心部分选择性外延生长硅层形成,作为脊型光波导的凸起部分;以及,第二氧化硅层,完全包裹所述脊型光波导的平板部分和凸起部分。相比常规的经过干法刻蚀具有粗糙侧壁表面的脊型光波导,本实用新型能显著减少光波传播的散射损耗;同时,脊型光波导的平板部分硅层厚度,为顶层硅的原始厚度并未经过刻蚀,比常规脊型光波导经过刻蚀的顶层硅厚度更精准、更均匀,光模场更符合设计,光更少泄漏到波导以外发生损耗。
天眼查资料显示,苏州希卓科技有限公司,成立于2021年,位于苏州市,是一家以从事研究和试验发展为主的企业。企业注册资本300万人民币,实缴资本100万人民币。通过天眼查大数据分析,苏州希卓科技有限公司参与招投标项目1次,专利信息21条,此外企业还拥有行政许可7个。
来源:金融界
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