华为测试国产EUV光刻机!关键技术获突破 #euv光刻机

摘要：EUV里面最困难的一部分就是要如何产生极紫外光。这种极紫外光不是从日光灯光线里面折射出来的，它是要靠一种电浆，一种电浆发射出来波长大概在15纳米以下的光线才能够产生极紫外光。

华为测试国产EUV光刻机关键技术获突破。

蔡正元。

EUV里面最困难的一部分就是要如何产生极紫外光。这种极紫外光不是从日光灯光线里面折射出来的，它是要靠一种电浆，一种电浆发射出来波长大概在15纳米以下的光线才能够产生极紫外光。

目前据媒体报道说，中国大陆已经从一些电浆里面去制造出来能够发射13.5纳米的波长的一种光线，那就是极紫外光。如果再控制在极紫外光就可以进行这种光线蚀刻的动作。

先回过头来，有两种技术，这两种其实早就知道，但是巧妙各有不同。现在阿斯麦用的叫LPP，叫镭射制造放电电浆，就是直接由镭射打进去一些氢氪氖、氦这类的气体以后所产生的。它的好处就是稳定，坏处就是用电量大、成本高。

目前华为据媒体报道是用LPD，LPD是镭射诱发放电电浆，它的情形就不一样，不是直接用镭射去，而是用镭射先去诱发某一些金属材料，然后去产生电浆效果，产生放电现象。还好快变成物理学课程了。

所以LPD跟LPP现在华为用的是LPD。LPD有个好处，它成本低，效果好，可是缺点稳定度比较差。现在就是两种技术，谁会赢谁会输。不知道以前阿斯麦就是掌控了LPP的技术，所以他打遍天下无敌手。像canon也想做，做不出来。松下也想做，卡在这个关卡就是做不出来。

尽管他们两家公司的镜片做了也不比蔡司差，因为光线出来就要经过不断的调整，用光，用各种镜片镜头去折射去调整，然后就变得很细很细，直接做蚀刻的动作。但是对于镜头做得好的Cannon跟Panasonic，跟蔡司可是光源本身就是一个物理，化学的一个很高深的技术，理论大家都懂，可是你就是做不出来，做不出生产上要的稳定度，要的效率跟成本。