蚀刻

芯片刻蚀,迎来巨变

芯片制造商在硅片上蚀刻复杂的图案,制造出驱动我们周围大多数电子设备和技术的半导体,正是如此。随着我们要求更小的设备拥有更高的功率和速度,以极高的精度雕刻这些图案的需求变得越来越迫切,也越来越具有挑战性。

芯片 等离子体 蚀刻 蚀刻机 克尔曼 2025-05-20 10:34  2

为了1000层闪存,拼了!

近日,由Lam Research、科罗拉多大学博尔德分校和美国能源部普林斯顿等离子体物理实验室(PPPL)的科学家们联手开发的创新蚀刻工艺,使3D NAND蚀刻速度翻倍,精度也得到提高,为实现更密集、更高容量的内存存储奠定了基础,为3D NAND闪存技术的进一

nand 等离子体 存储单元 蚀刻 lam 2025-03-16 01:16  9

什么是高选择性蚀刻

华林科纳半导体高选择性蚀刻是指在半导体制造等精密加工中,通过化学或物理手段实现目标材料与非目标材料刻蚀速率的显著差异,从而精准去除指定材料并保护其他结构的工艺技术‌。其核心在于通过工艺优化控制不同材料的刻蚀速率比,达到‌>5:1‌甚至更高的选择比标准‌。

掩膜 刻蚀 氮化硅 蚀刻 氧化硅 2025-03-12 17:03  10