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半导体干法/湿法刻蚀技术的缺陷与解决

在半导体制造中，干法刻蚀（Dry Etching）和湿法刻蚀（Wet Etching）是两种主流的刻蚀技术，其原理和工艺特性不同，因此产生的缺陷类型也存在显著差异。以下是两者的主要缺陷及其成因和影响。

在新能源市场的浩瀚星空中，大圆柱电池正成为一颗迅速升起的璀璨新星。去年，特斯拉的4680电池工艺突破及正式下线第1亿颗电池的里程碑事件，与松下宣布为4680量产做足准备的消息交相辉映，标志着圆柱电池即将引领新能源市场迈入新纪元。

近年来，固态电池干法电极工艺技术取得了显著进展。在材料选择方面，研究人员开发了适用于干法电极的新型粘结剂和导电剂，如热塑性聚合物和碳纳米管等，这些材料不仅具有良好的粘结性和导电性，还能在干法工艺条件下实现均匀分散。在工艺优化方面，通过改进混合设备和优化工艺参数

去年大圆柱电池无疑是与固态电池并行的爆火概念，特斯拉的工艺突破以及去年9月宣布第1亿颗4680电池正式下线，在此之前一周松下也宣布为4680量产做好准备，和歌山工厂将成为主要生产地，行业翘楚的官宣，似乎预示着圆柱电池将带动新能源市场走入一个新时代。

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该报道援引了公司电池项目高级总监 Bonne Eggleston 的说法。Eggleston 透露，特斯拉计划在今年晚些时候推出干法正极技术，从而避免使用昂贵且具有安全风险的湿法溶剂和大型烘干设备。特斯拉曾表示，这项技术每年可节省多达 10 亿美元（IT之家注

2016年的硅谷，一场震动半导体界的3亿并购案悄然落定。北京亦庄国投通过新成立的屹唐半导体，以破局之姿将美国上市公司Mattson Technology收入囊中。这场收购的操盘手，正是半导体行业传奇人物陆郝安博士。这位曾在美国应用材料、英特尔深耕二十余年的技术

2024年12月31日-1月3日，由汇成医美教育主办、麦澜德独家冠名，北京安德、大连富勒烯、睿美云倾情赞助的第八届孙多勇®跨年演讲暨「非凡2025」年度战略规划大课（以下简称“跨年演讲”），历经四天三夜圆满落幕。

Factorial Inc. 宣布，该公司首款 Solstice™ 全固态电池电芯已扩展至 40Ah 容量。这些适用于汽车的 A 型样品电池采用新型的干法正极涂层工艺制造，并展示了 9 月份宣布的能量密度。

在锂离子电池制造过程中，匀浆工序作为前段第一个步骤极其重要，其在锂离子电池的整个生产工艺中对产品的品质影响度是最重要的环节。不管匀浆何种工艺，最终正负极浆料基本上都是由正负极活性物质、粘结剂、导电剂、溶剂和其他微量添加剂组成。

在湿法涂层电极制备中使用大量N-甲基-2-吡咯烷酮（NMP），这不仅增加了材料成本，并且NMP的毒性和易燃性还引起了严重的健康和安全问题。为了解决这一问题，干法涂层（DC）方法已经引起了学术界和工业界的广泛兴趣。然而，迄今为止，对于高能量密度的锂和锰富集正极（