美国俄亥俄州立大学（OSU）就利用金属有机化学气相沉积（MOCVD）提高氧化镓（β-Ga2O3）外延的生长速度进行了报告 [Dong Su Yu et al, Appl. Phys. Lett., v125, p242106 2024]。研究团队特别研究了改变

氧化镓 mocvd mocvd生长 2025-01-24 14:25  7

在科技创新的璀璨星河中，中微半导体设备（上海）股份有限公司及其子公司南昌中微半导体设备有限公司再次闪耀光芒。近日，他们共同持有的发明专利“化学气相沉积装置及其清洁方法”（专利号：ZL201510218357.1）在第二十五届中国专利奖评选中荣获银奖，这一荣誉无

技术创新 mocvd 中国专利 2025-01-09 17:01  10

Veeco Instruments欣然宣布，其Lumina MOCVD系统已荣耀加冕，成为支撑下一代microLED生产的璀璨明星，这一荣耀由PlayNitride亲手授予，并伴随着两套系统的璀璨订单，它们将在2025年的曙光中优雅交付。

mocvd luminamocvd veeco 2024-12-19 22:17  11

近日，第十届国际第三代半导体论坛&第二十一届中国国际半导体照明论坛（IFWS&SSLCHINA2024）在苏州召开。期间，“氮化物衬底、外延生长及其相关设备技术”分会上，中国科学院半导体研究所副研究员、中科重仪半导体联合创始人姚威振做了”GaN基光电材料外延与

反应器 姚威 mocvd 2024-11-28 21:22  10