应用材料公司申请沉积硅基介电膜的方法专利,形成3D NAND结构内高纵横比结构 国家知识产权局信息显示,应用材料公司申请一项名为“沉积硅基介电膜的方法”的专利,公开号CN119895076A,申请日期为2023年7月。 nand 纵横比 沉积硅基 纵横比结构 硅基介电 2025-05-01 13:53 3