摘要:为什么走DPP这条路?很现实,LPP(局部保留投影)那头激光环节被封得死,DPP(放电产生等离子体)能绕开一部分技术封锁,哪怕不完美,起码能往前迈一步。
这几年一聊到芯片,大家心里都有根刺。最让人着急的就是光刻机,关键零部件被卡在外面,行业里的工程师嘴上不说,心里都憋着劲儿。
时间线往回拨。
2022年,哈工大团队做出光源样机;
2023年把原型机撸出来;
到2024年上半年通过了关键测试。
团队还和国仪超精密一起上项目,投了11亿元建厂。
为什么走DPP这条路?很现实,LPP(局部保留投影)那头激光环节被封得死,DPP(放电产生等离子体)能绕开一部分技术封锁,哪怕不完美,起码能往前迈一步。
实验室做出来和产线能用,中间隔着一堵墙。光源要在高功率下稳定输出,还得解决碎片污染、寿命、维护周期这些脏活累活。没人会只看演示视频,真正上机要跑几千小时不掉链子,这一关不过,谈不上量产。
同一时期,外面的声音也响起来。
新加坡的老牌投资人王国辉在彭博上放话,说中芯国际缺的就是国产EUV光刻机,一旦有人做出来,芯片大战就见分晓。
他看好的逻辑不复杂:中国市场够大,能摊掉成本;政府有长期资金;工程师供给旺,每年理工科毕业生像洪水口一样往产业里灌。他把中芯的千亿美元对标台积电的万亿市值,意思很直白:空间还在。
拉回到中芯的实际进度。14纳米的FinFET早在2019年就量产,围着低功耗平台做了一圈产品,物联网、移动终端、AI芯片都在跑。
2020年之后买不到EUV,只能在DUV上做文章,多重曝光把线宽往下压,硬生生堆到7纳米。办法有,代价也不小:工序激增,良率和成本压力一来一回。
2023年华为Mate 60用上7纳米的麒麟9000S,外界震了一下,说明设计和制造合起来能把节点拉下来,但能做几片和能稳定供货不是一个问题。
账面上也不好看:2024年中芯利润同比掉了四成多,只剩四点多亿美元,资本市场情绪跟着晃。美日荷联手收紧DUV和相关部件的出口,扩产节奏被迫降档。
2025年中芯把资本开支定在七十多亿美元,北京、上海的厂还在扩,可先进制程卡在5纳米以上,有没有EUV,决定能走多远。存储那边,长江存储、长鑫把DRAM、NAND的台阶踩稳了,但全产业链的短板还是扎眼。
媒体的说法分成两拨。有人乐观,觉得绕封锁是条可走的路;也有人专盯成本和合规风险。至于哈工大的光源,圈里讨论不少,认可进度的同时,也提醒功率和稳定性还远没到生产线要求。大家都记得汉芯的教训,宁可慢点,也别喊过头。
决定胜负从来不是一颗光源。整机要靠物镜、台体、对准与计量系统一起配合,材料端有光刻胶、气体、关键化学品,软件端有EDA和工艺控制,后面还串着供应商的保养体系、备件和响应速度。芯片不是汽车,拆开看了也装不回去,任何一个小环出问题,良率曲线就塌。
中国另一条线也在推进。上光所继续啃LPP-EUV,清华在稳态微聚束光源上往前挪,北航做三元计算和混合随机数芯片,110纳米、28纳米这样的工艺在触控、飞控里先落地。
这些不一定直接解决手机CPU,但能在工业控制、显示、航空电子这些场景把路面铺平,绕过正面刚的那堵墙。
但是美国的限制一直在持续加码,高性能CPU生态薄弱,指令集兼容性问题摆在那儿;GPU这边摩尔线程、壁仞在往上爬,可和英伟达的差距不是一年两年能抹平。禁售H100把华为昇腾的价格抬高了,灰色渠道的GPU又贵又少,企业做决策时先算账,这是现实。
一茬又一茬的理工生进厂,论文一天到晚变图纸,图纸变设备,设备变产能;政府基金没有抽梯子,地方在拉链条,零部件厂、化学品厂、检测仪器厂逐个补洞。供应链越往里扎,外部的阀门就越难掐死整条线。
赢麻了这三个字听着提气,落在企业身上就是扎扎实实的投入、试错和迭代。管理层最在意的,是订单能不能按时交、工艺模块能不能复用、设备维护的停机时间能不能压下去、材料会不会断供。光源再亮,一天到晚跳功率,客户也不敢签长期协议。
接下来比较像样的打法,是同时做几件事:
在谈判里把设备和部件的窗口期尽量掰大;
把DUV能榨的潜力再挤一轮,成熟制程用规模摊成本;
在整机和系统层面用架构创新去抵掉一部分工艺差;
在汽车电子、工业控制、通信设备这些对成本和稳定性更敏感的行业先占住坑位;
上游零件和材料按模块去拼图,别指望一口吃成。谁能把每一段链条都拧紧,谁的现金流就稳。
外界爱问时间表,产业里的人更清楚这是没有时间表的活。设备一台一台到,产线一条一条开,良率一点一点抬。今天解决的是污染,明天就轮到计量,后天又回到材料。听起来琐碎,但只有把这些烦人的问题逐个拎出来处理,节点才会往前挪。
晚上路过工业区,厂房里灯还亮着。有人在调光源,有人在改配方,有人在盯数据。没有谁会等一个奇迹砸下来,大家能做的,就是把手上这点进度攒起来。什么时候能不被卡,没人敢给日子;能肯定的是,方向没变,队伍没散,力气也没松。
来源:厉论