摘要：探索未知，始于对微观世界的清晰洞察。现在，您通往原子世界的“超级眼睛”已就位！目前，世界顶级的 Thermo Fisher Spectra 300 双球差校正透射电子显微镜已正式面向全国的高校、科研院所及高新技术企业开放预约测试服务！设备介绍名称型号：Ther

探索未知，始于对微观世界的清晰洞察。现在，您通往原子世界的“超级眼睛”已就位！

目前，世界顶级的 Thermo Fisher Spectra 300 双球差校正透射电子显微镜已正式面向全国的高校、科研院所及高新技术企业开放预约测试服务！

名称型号：

Thermo Fisher Spectra 300双球差校正透射电镜

性能参数：

1. 分辨率性能：

TEM信息分辨率：≤60pm@300KV

STEM分辨率：≤50pm@300kV

空间分辨率：≤1nm（纳米晶体取向分析）

2. 电子光学系统：

加速电压范围：60-300kV

电子枪：带有单色器的超稳定超高亮度肖特基场发射电子枪

束流/束斑尺寸：≥2nA@0.2nm；≥12.0nA@1nm

3. 探测器系统：

最大HAADF STEM接收角：200 mard

扫描透射探头：HAADF探头，轴向16分割STEM探测器

EDS系统：对称式四个电制冷能谱，有效探测器面积≥120mm²，能量分辨≤136eV(Mn-Ka)

4.元素范围：

常规可测11Na-92U，部分仪器可测到O元素（需备注）。

检测限：一般约200ppm，低于此值结果仅供参考。

功能与服务项目：

1. 基本功能：

TEM（透射电子显微镜）

STEM（扫描透射电子显微镜）

EDS（能谱分析）

SAED（选区电子衍射）

2. 高级分析功能：

旋进电子衍射控制器：最小束斑≤1nm，旋进角范围0-2.5°

纳米晶体取向和晶相分布分析系统：电子束最小扫描步长≤0.5nm

纳米晶体应变分析系统：晶体取向分辨率≤1nm，空间分辨率≤3nm

样品要求：

1. 块体用FIB制样，厚度30nm左右；粉末提供10mg左右；

2. 纳米颗粒或者纳米片建议用微栅或者超薄碳膜制样；

3. 含磁性元素的样品必须提供粉末用于验证磁性；

4. 可提供寄样，云视频，现场测试服务。

结果展示:

图1 钙钛矿异质结

图2 纳米催化材料

图3 FIB+球差电镜(ABF+HADDF+EDS mapping)磁性半导体多层膜领域

应用场景

1.原子尺度结构解析，直接观察晶体缺陷（位错、层错、晶界）；

2.纳米材料表征，确定量子点、纳米线的原子排列与表面终止面；

3. 半导体与电子器件；

4.定位芯片中纳米级裂纹或金属迁移导致的短路路径；

5.催化机理研究。

来源：米格实验室

来源：芯片测试赵工