江苏道达智能科技申请基于 Ftest 检验的晶圆制程数据分析方法专利,能快速识别影响晶圆性能的异常设置参数并修正

360影视 日韩动漫 2025-03-21 18:22 4

摘要:金融界 2025 年 3 月 21 日消息,国家知识产权局信息显示,江苏道达智能科技有限公司申请一项名为“一种基于 Ftest 检验的晶圆制程数据分析方法”的专利,公开号 CN 119646383 A,申请日期为 2024 年 11 月。

金融界 2025 年 3 月 21 日消息,国家知识产权局信息显示,江苏道达智能科技有限公司申请一项名为“一种基于 Ftest 检验的晶圆制程数据分析方法”的专利,公开号 CN 119646383 A,申请日期为 2024 年 11 月。

专利摘要显示,本发明公开了一种基于 Ftest 检验的晶圆制程数据分析方法,属于晶圆制程数据分析技术领域。该方法基于晶圆制程数据分析系统实现,包括数据采集模块、数据库、数据处理模块、临界值确认模块、计算分析模块和智能调节模块;该方法通过对晶圆加工结束后的检测参数进行逻辑分组,通过 Ftest 检验分析,有效解决了在海量的晶圆制程数据中准确识别和解析组间复杂关系的难题,体现了晶圆制程数据分析的整体性和全面性;针对晶圆制造行业的特定需求,计算不同检测参数组的方差和不同检测参数组方差之间的 F 统计量,能快速识别影响晶圆性能的异常设置参数并控制晶圆加工机台对异常设置参数进行自动修正,提高了晶圆的生产加工质量。

天眼查资料显示,江苏道达智能科技有限公司,成立于2017年,位于南京市,是一家以从事软件和信息技术服务业为主的企业。企业注册资本5639.3002万人民币,实缴资本1545.03万人民币。通过天眼查大数据分析,江苏道达智能科技有限公司共对外投资了1家企业,参与招投标项目18次,财产线索方面有商标信息6条,专利信息132条,此外企业还拥有行政许可9个。

来源:金融界

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